PVD真空離子鍍膜設備塗層(céng)加工常用靶材

發布時間:2023-03-02瀏覽量:10357

彩色係膜層和常規色膜層最大的區別就是C值和H值,所以可以說,黑色也是彩色係膜層。


 

鋯+氮氣:黃綠調金黃色
鋯+甲烷(wán):深淺黑色
鋯+氧氣:白色、透明膜
鋯+氮氣+甲烷:金色、仿玫瑰金


 

鉻+甲烷:深淺黑色
鉻+氮氣:淺(qiǎn)黑色
鉻+氮氣+甲烷:銀灰色
鉻+氧氣:輕黃色(sè)、紫色(sè)、綠(lǜ)色


 

SUS+氧(yǎng)氣:紫色
SUS+氮(dàn)氣(qì):藍色
SUS+甲烷:亮(liàng)黑色(sè)
SUS+甲烷+氮(dàn)氣:藍黑色


 

矽+氮氣:黑色
矽+氧氣:混濁白、透明膜
矽+甲烷(wán):黃色、綠色、藍色、黑色(靶材純度高於99%僅能調黑(hēi)色)


 

鈦+氧氣:光學膜七彩(cǎi)截色,不多介紹都懂。
鈦+甲烷:深淺黑色( DLC製備不能(néng)達(dá)標)
鈦+氮氣:仿金色、黃銅色、紫色、紅色
鈦+氮(dàn)氣+甲烷:仿玫(méi)瑰金、黑綠色、複古黃、棕色、紫色


 

鎢+氮氣:棕(zōng)黃色
鎢(wū)+甲烷:深淺黑色
鎢+氧氣:紫色,鮮黃色,棕色,藍色


 

以上僅裝(zhuāng)飾薄膜常用材(cái)料及(jí)其常用氣體(tǐ),通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分(fèn)顏(yán)色甲烷效果更好。


 

除以(yǐ)上(shàng)常(cháng)用材料外,金(jīn)屬靶材還有鎳、鋁、鉭(tǎn)、鉿、錳(měng)、銅(tóng)、鋅、銦、錫、等,均有在鍍(dù)膜中使用。多質靶材如鈦鋁、鉻鋁(lǚ)、鈦鋯、銅錳、鎳鉻、矽鋁、釩錸、鎢鉬(mù)等。


 

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