真空鍍膜設備運用技（jì）術已經成為了人們生活中不可或（huò）缺的一部分（fèn），影響著人民（mín）的生活（huó）方式，如日常生活中餐具、家居、建材、電子產品、包裝等表麵都鍍上了一層膜，即改變了（le）產品的性能，也改變為其美觀度（dù）。

        隨著社會（huì）的進步，真空鍍膜機（jī）技術也（yě）是日新月異，光學鍍膜技術、卷繞鍍膜（mó）技術、裝飾鍍膜技術、磁控鍍膜技（jì）術，早已大量的投（tóu）入到市（shì）場運（yùn）用，來滿足市場目前需求。很多行業以外的（de）人心中都有一個疑惑，就是真空鍍膜機具體是哪些結構組（zǔ）成的呢?下麵匯成（chéng）真空小編為大家整理了這方麵的（de）資料，供大家參考和學習。

        一、真空室，塗層設備（bèi）主要有（yǒu）連續塗層生產線及單室塗層（céng）機兩種形式，不鏽鋼材料製造、氬弧焊接、表麵進行化學拋光處理，真空室組件上焊有各種規格的法蘭接口。

        二、真空獲得部分，在真空技術中，真空獲得部分是重要（yào）組成部分。真空的獲得不是一種真空設備和方法所能達到的，必須將幾種泵（bèng）聯合使用，如（rú）機械泵、羅茨泵、分子泵係統等。 

        三、真空測量部分，真空係統的（de）真空測量部（bù）分，就是要對真（zhēn）空（kōng）室內的（de）壓強進行測量。像真空泵一樣，沒有一種真空計能（néng）測量整個真空範（fàn）圍（wéi），人（rén）們於是按不同的原理（lǐ）和要求製成了許多種類的真空計。如熱偶計（jì），電（diàn）離計，皮拉尼（ní）計等（děng）等。 

        四、電源供（gòng）給部分，靶電源主要有直流電源（yuán）、中頻電源、脈衝電（diàn）源、射頻（pín）電（diàn）源(RF)，常見的電源廠商有AE,ADL,霍廷格等

        五、工（gōng）藝（yì）氣體輸入係統，工藝氣體，如氬氣(Ar)、氪氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔（quē）(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等，一般均由氣瓶供應，經氣體減壓閥、氣體截止（zhǐ）閥、管路、氣體流（liú）量計、電磁閥、壓（yā）電閥，然後通入真空室。這種（zhǒng）氣體輸入係統的優點是，管路簡捷、明（míng）快，維修或更換氣瓶容易（yì）。各（gè）塗層機之間互不（bú）影響。也有多台塗（tú）層機共用一組氣瓶的情況（kuàng），這種情況在一些規模（mó）較大的塗層車間可能有機會看到。它的好處是，減少氣瓶占用量，統一規劃、統一布局。缺點是，由於接頭增（zēng）多，使漏氣機會增加。而且，各塗層機之間會互相（xiàng）幹擾，一台塗層機的（de）管路漏氣，有可能會影響到其他塗（tú）層機的產品質量。此外，更換氣瓶時，必須保證所有機台都處於非用氣狀態。

        六、機械傳動（dòng）部分（fèn），塗層要求周邊必須厚度均勻一致，因此，在塗層過程中須（xū）有三個轉（zhuǎn）動量才能滿足要求。即在要求大工件台轉動(I)的同時，小的（de）工件承載台也轉動( II),並且工件本身還能同時自轉(III)。在機械設計上，一（yī）般是在大工件轉盤底部中央為一大的主動齒（chǐ）輪，周圍是一些小的星行輪與（yǔ）之（zhī）齧合，如（rú）果要（yào）實現產品自轉的話，一般用（yòng）撥叉撥動工件自轉。

 
        七、加熱及測（cè）溫部分塗層設備一般有不同位置的加熱器，用熱電偶測控（kòng）溫度。但是，由於熱電偶裝夾的位置與工（gōng）件位置（zhì）不（bú）同，溫度讀數不可能是工件的真實溫度。要想測得工件（jiàn）的真實溫度，有很多方法，可以在工件上裝高溫試紙（zhǐ）或熱偶計。 

        八、離子蒸發及濺（jiàn）射源，多（duō）弧鍍的蒸（zhēng）發源一般為圓餅（bǐng）形，俗稱圓餅靶，也有長（zhǎng）方形（xíng）的多弧靶。靶座中裝有磁（cí）鐵，通過前後（hòu）移動磁鐵，改變磁場強度，可調整弧斑移動速度及軌跡（jì）。為了降低靶及靶座的溫度，要（yào）給靶座不斷通入冷卻水。為了保證靶與靶座之間的高導電（diàn）、導熱性（xìng），還可以在靶與靶座之（zhī）間加（jiā）錫墊片。磁控濺（jiàn）射鍍膜一（yī）般采用長方（fāng）形或圓柱形濺射陰極（jí）。 

        九、水冷係統，一般由冷水（shuǐ）塔，冰水機，水泵（bèng）等組（zǔ）成（chéng）

        真（zhēn）空鍍膜機必須由以上九個部件組成，每一（yī）個部件（jiàn）在機（jī）器裏麵都啟（qǐ）動到了至關重要的作用，缺一不可。