真空鍍膜時為什麽要用到(dào)高純氣體

發布時間:2023-03-03瀏覽量:6955

        在真空離子鍍膜設備工作中,所選用不同氣體(tǐ)所生產出來的,液態氣(qì)體色澤也會不一樣(yàng),氬氣一般用作創造鍍膜的(de)環境鍍鈦和鉻時,工業氣體充入氮氣可生產出銀色和(hé)黃色的產品而(ér)想要生產出黑色或灰色的產品,則需要加入乙炔氣體加入氧氣則生產藍色(sè)的產品。除了(le)氣體外所生產出的產品顏色還受壓力、溫度、時間等條件影響。


 

真空電鍍蒸發是氣體利用的什麽原理?
在高(gāo)真空度的(de)條件(jiàn)下,高(gāo)純度的鍍層金屬(如鋁)在高溫下蒸發後會(huì)自由地飛散開並沉降在工件表麵,形成鍍層(céng)。氬氣為(wéi)保護性氣體,防止氧化反應影響(xiǎng)鍍層質量。


 

氬氣在電鍍過程中有何用?
氬氣不(bú)參與(yǔ)反應,隻是增加氣壓,改善鍍膜時靶的放電條件,氬氣不是用於鍍(dù)膜(mó),主要用於創造鍍膜的環境。氮氣和氬氣都是惰性(xìng)氣體,衝進去以後,一 可以排除氧(yǎng)氣,防(fáng)止氧化(huà),二更具氮氣和氬(yà)氣在擴(kuò)散泵內的含量比例不同,可以鍍膜出不同的顏色.主要是為(wéi)了改變鍍膜出來產品(pǐn)的(de)色彩.


 

真(zhēn)空鍍膜(mó)行業中(zhōng),氬氣的流量大小具體如(rú)何控(kòng)製?
如果是說鍍膜時為了調節壓力使用的(de)氣體 個人認為如下(xià):氬氣如果隻是調節壓力(lì),一次壓可以不計,但是二次壓要小於0.5個大氣壓。氮氣也是(shì),主要是因為如果大了,會導致真空(kōng)倉內的壓力變化太劇烈,導(dǎo)致誤差。如果是使用離子源,那麽氬氣入氣量(liàng)不宜過大,大了導致離(lí)子量過大,燒(shāo)壞部件。壓力和上邊沒(méi)什麽差別。


 

         任何固體材料在大氣環境下都會溶解(jiě)和吸附一些氣體,當材料置於真空狀態時就會因為脫(tuō)附、解析(xī)而出氣。出(chū)氣的速(sù)率與材料中(zhōng)的氣(qì)體含量成正比。不同的材料解析的氣體成分及解析的溫度及時間是不同(tóng)的。


 

         各(gè)種泵對不同成分的氣體抽氣速率也是不一樣的。抽真空時,首先抽走的是容器中的大氣(這部(bù)份氣體很快被抽走,10-1Pa時爐內氣體基本抽盡),然後是材料表麵解吸的氣體、材料內部向表麵擴散出來(lái)的氣體,以及(jí)通過器壁滲透到真空中的氣體.因(yīn)此在貨品進入爐(lú)內之後,都要進行保溫(wēn)除氣,因為貨品在(zài)進爐前會吸附一些雜質氣體,我們要通過適當的加熱,讓(ràng)這些氣體解析脫附貨品的(de)表麵。以不鏽鋼為例,除了在它表麵吸附的氣體之外,在不斷的加(jiā)熱保溫過程中鋼內部還會(huì)析出一些氣體,這些氣體的存在往往對薄膜的純(chún)度和顏(yán)色有較大的影響(xiǎng),對膜層附(fù)著力影(yǐng)響也很大。


 

        因此真空鍍膜機鍍膜(mó)時,膜(mó)層的好壞,氣體啟著關鍵性的作用,是鍍膜環(huán)節不可或缺的一步。


PVD鍍膜塗層常用置配::

彩色係膜(mó)層和常規色膜層最大的區別就(jiù)是C值和H值(zhí),所以可以說,黑色也是彩色係膜(mó)層。

鋯+氮氣:黃綠調(diào)金黃色

鋯+甲(jiǎ)烷:深(shēn)淺黑色

鋯+氧氣:白色、透明膜

鋯+氮氣+甲烷:金色、仿玫瑰金

鉻+甲烷:深淺黑色

鉻+氮氣:淺黑色

鉻+氮氣+甲烷:銀灰(huī)色

鉻+氧氣:輕黃色、紫色(sè)、綠色

SUS+氧氣:紫色

SUS+氮氣:藍色(sè)

SUS+甲烷:亮(liàng)黑色

SUS+甲烷(wán)+氮氣:藍黑(hēi)色

矽+氮氣:黑色

矽+氧氣:混(hún)濁白、透明膜

矽+甲(jiǎ)烷:黃色、綠色、藍色、黑色(靶(bǎ)材純度高於99%僅能調黑(hēi)色)

鈦+氧氣:光學膜七彩截色,不多介紹都懂。

鈦+甲烷:深淺(qiǎn)黑色( DLC製備不能達標)

鈦+氮氣:仿金色(sè)、黃銅色、紫色、紅色

鈦+氮氣+甲烷:仿玫瑰金、黑綠色、複古黃、棕色、紫色(sè)

鎢+氮氣(qì):棕黃色

鎢+甲烷:深淺黑色

鎢+氧氣:紫色,鮮黃色,棕(zōng)色,藍色

以上(shàng)僅裝飾(shì)薄膜常用(yòng)材料及其(qí)常用氣體,通常(cháng)甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分顏色甲烷效果更好。除以(yǐ)上常用材料外,


 

金屬靶材還有鎳、鋁、鉭、鉿、錳(měng)、銅(tóng)、鋅、銦、錫、等,均有在鍍膜中使用。多質(zhì)靶材如鈦(tài)鋁(lǚ)、鉻鋁、鈦鋯、銅錳、鎳鉻、矽鋁(lǚ)、釩錸、鎢鉬等等。


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