高能脈衝(chōng)磁控濺射(HiPIMS)
技術特點:

高能脈衝磁控濺射技(jì)術是利用較高的脈衝峰值功率和較低的脈衝占空比來產生高濺射(shè)金屬離化率(lǜ)的一種磁控濺射技術。將高能衝擊磁控濺射與高壓脈衝偏壓技術複合,利用(yòng)其高離化率和淹沒(méi)性的特(tè)點(diǎn),通過成膜(mó)過程(chéng)中入射粒子能量與分布的有效操控,實現高膜基結合力、高品質、高均勻性薄膜的製備。該裝備係統將在衛星通訊、等離子物理、新材料等領域具有重(chóng)要的工業應用價值。


領域:
工模具高溫塗層:汽車、航空航(háng)天、軍(jun1)事等先進製造行業應用
稀(xī)土(tǔ)鋁耐蝕薄膜:NdFeB磁鐵行業環保(bǎo)塗層(céng)應用
太陽能薄膜:光伏(fú)發電及新能源領(lǐng)域應用
生物工程薄膜:生物醫用領域應用


 

中(zhōng)國廣東省東莞(wǎn)市

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